1.1、特種氣體應(yīng)按照物理化學特性分類存放，特種氣體間的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1.1.1、特種氣體間應(yīng)設(shè)置排風系統(tǒng)，房間應(yīng)運行在負壓狀態(tài);

1.1.2、特種氣體間用防火隔墻相互隔離;

1.1.3、易燃易爆特種氣體間應(yīng)進行防爆設(shè)計。

1.2、大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備應(yīng)布置在獨立的開敞式建筑，開敞式建筑應(yīng)帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面。

1.3、硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及大宗容器與工藝氣體盤之間的距離小于9m時，應(yīng)設(shè)置2h以上的防火隔斷。

1.4、硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備不得建在地下室的室內(nèi)。

1.5、劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)配置專用容器或堵漏工具、排風裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態(tài)下的排風處理裝置。

1.6、劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)設(shè)置雙鎖安全門、防盜窗和防止人員入侵的技防設(shè)施。

2.1、不相容特種氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中;

2.2、液態(tài)氣體鋼瓶加熱應(yīng)配置溫控系統(tǒng)，鋼瓶表面溫度應(yīng)滿足安全要求。

2.3、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應(yīng)與獨立的氮氣源連接，并設(shè)置止回閥，不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源。

2.4、不相容特種氣體排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng);

2.5、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣必須經(jīng)過尾氣處理裝置處理或排入安全位置。

2.6、氣瓶柜閉門時應(yīng)保持負壓，柜內(nèi)的負壓和排風換氣次數(shù)應(yīng)保證泄漏的特種氣體不得進入室內(nèi)。

2.7、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體氣瓶柜和閥門箱應(yīng)在排風出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測器。

2.8、硅烷鋼瓶側(cè)連接管道應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥，硅烷站的安全出口應(yīng)設(shè)置手動緊急切斷按鈕。

3.1、生產(chǎn)廠房潔凈室內(nèi)的易燃性和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，并采用焊接。穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施。

3.2、易燃性、氧化性特種氣體管道，應(yīng)設(shè)置防靜電接地。

3.3、特種氣體管道必須進行管道標識。

4.1、應(yīng)用多種特種氣體的生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)，系統(tǒng)應(yīng)實現(xiàn)特種氣體的連續(xù)檢測、指示、報警的功能，并應(yīng)能夠記錄、存儲和打印。

4.2、儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置特種氣體泄漏探測裝置：

4.2.1、自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處;

4.2.2、生產(chǎn)工藝設(shè)備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱及排風管口處;

4.2.3、生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理設(shè)備排風口處;

4.2.4、惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域;

4.2.5、自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設(shè)備間;

4.2.6、其它可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

4.3、自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體檢測裝置報警設(shè)定值應(yīng)符合下列規(guī)定：

4.3.1、自燃性、可燃性氣體的一級報警設(shè)定值應(yīng)小于等于25%可燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設(shè)定值應(yīng)小于等于50%可燃性氣體爆炸濃度下限值;

4.3.2、劇毒性、毒性氣體的一級報警設(shè)定值應(yīng)小于等于50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值-時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)，二級報警設(shè)定值應(yīng)小于等于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值-時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA);

4.3.3、設(shè)在惰性氣體間的氧氣探測器，其一級報警設(shè)定值應(yīng)大于等于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級報警設(shè)定值應(yīng)大于等于18%氧氣體積濃度(V/V)。

4.4、硅烷排風管道的氣體泄漏探測器的報警設(shè)定值，應(yīng)等于或小于50 ppm，并與硅烷氣源的自動切斷閥聯(lián)鎖。

4.5、特種氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，應(yīng)自動啟動相應(yīng)的事故排風裝置，自動關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并應(yīng)能接受反饋信號;自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置，該聲光報警應(yīng)有別于火災(zāi)報警裝置，并應(yīng)啟動應(yīng)急廣播系統(tǒng)。