一般可區(qū)分為大宗氣體和特殊氣體，其中大宗氣體通常是以室外的大型氣站或槽車供應為主；而特殊氣體的部分由于其特性包含易燃性、腐蝕性及毒性等，如果發(fā)生泄露可能釀成災禍，因此需要特別注意。

　　1、半導體實驗室氣路之可燃氣體：

　　在實驗室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃氣主要就是用于試樣熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤氣沙浴。它的使用場所一般是在試驗臺或者實驗室通風柜中，但是在試驗臺上使用，要保證臺面耐高溫和設(shè)計原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃氣體都具有高危險性，進行氣體管路的設(shè)計和安裝時要達到國家的要求標準、行業(yè)規(guī)范，非專業(yè)工程師不得隨意改動和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發(fā)生。

　　2、半導體實驗室氣路之高純氣體：

　　常規(guī)咱們在實驗室中接觸到的高純氣體有：氧氣、氮氣、氬氣、空氣、氮氣等，這些高純氣體等級有所不同，也意味著他們的純度不同，可根據(jù)實驗要求或者儀器要求來先擇適合的純度級別。它們均存放在高壓氣瓶當中，使用時要進行機械減壓，才能達到實驗所需的壓力值。像乙炔、乙烷、氫氣等都是易燃易爆氣體，一旦泄露對人體和環(huán)境有危害，所以對氣瓶的存放有嚴格要求，必須有獨立的存放空間，不得和助燃氣體混放、遠離火源等。當然在使用任何氣體時，都需要輕拿輕放，因為氣瓶中壓力很大，如果不小心磕碰，隨時都會造成危險。投放使用之前檢查好鋼瓶的外觀是否有皮損、嚴重銹跡、閥門是否有泄露，出氣口是否有灰塵雜質(zhì)，出口頭墊片是否老化，必要時要做好清理和更換。